伴隨著半導體廢水處理技術的快速發展和消費需求的增加，半導體廠排出的含氟廢水急劇增加，產生的絡合離子種類增多。各工序所處理的廢水各不相同，其中腐蝕基材廢水以氫氟酸為主，排放量最大。為防止此類廢水對環境和生態造成污染和破壞，必須努力降低廢水氟含量。

       半導體廠的廢水，種類很多，特別是含有機溶劑(用于脫脂和清洗襯底)或含氫氟酸(用于襯底腐蝕) 的氫氟酸廢水，還含有各種化合物。盡管大多數的有機溶劑得到了回收，但有些仍然混入廢水中。含氟廢水中氟化物含量較高，而含氟廢水中氟含量較低。所以，高、低氟濃度的廢水可以分別處理，也可以混雜在一起處理。